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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本AD-TEC 雙極直流電源設(shè)備日本 AD-TEC 靜電卡盤電源，輸出 ±10kV 高電壓，具備極性反轉(zhuǎn)與強(qiáng)制接地功能，數(shù)字控制支持 RS-232C 通信與模擬輸出，內(nèi)置放電、短路、過載保護(hù)，可選配 RF 濾波器，適配半導(dǎo)體靜電卡盤應(yīng)用。
產(chǎn)品型號(hào)：BP020A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-05-07訪 問 量：106
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日本AD-TEC 雙極直流電源設(shè)備 日本AD-TEC 雙極直流電源設(shè)備
合規(guī)與高壓輸出：符合 UL 標(biāo)準(zhǔn)，可穩(wěn)定輸出 ±10kV 高電壓，滿足靜電卡盤的靜電吸附與釋放需求。
極性與接地功能：具備極性反轉(zhuǎn)功能及強(qiáng)制接地功能，適配不同工藝階段的極性切換與安全接地需求。
數(shù)字控制與通信：采用數(shù)字控制，支持 RS-232C 外部通信，同時(shí)具備電壓、電流模擬輸出顯示功能，便于設(shè)備集成與監(jiān)控。
多重安全保護(hù)：內(nèi)置可靠的保護(hù)電路，可防止負(fù)載側(cè)放電、短路、過載等異常情況，提升設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性。
RF 干擾防護(hù)：可搭配專用 RF 濾波器 BOX，保護(hù)電源免受 RF 干擾影響，適配等離子體工藝環(huán)境。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 輸入電源 | DC24Vdc（22Vdc~28Vdc） |
| 額定電壓 | ±10kVdc |
| 額定電流 | ±1mA |
| 紋波電壓 | 1%pp |
| 輸出穩(wěn)定性 | 100Vdc（額定輸出時(shí)） |
| 負(fù)載范圍 | 10MΩ（容許值：8~50MΩ） |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷（不可使用腐蝕性氣體） |
| 外觀尺寸 | W480×H149×D500（mm） |
| 重量 | 約 9.7kg |
半導(dǎo)體制造工藝中的靜電卡盤供電，如晶圓吸附、固定與釋放環(huán)節(jié)
需高壓直流供電且對極性切換、安全接地有要求的工業(yè)靜電應(yīng)用場景
等離子體工藝環(huán)境下的靜電卡盤配套電源，搭配 RF 濾波器可抵御 RF 干擾
| 字段 | 填寫內(nèi)容 |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | 日本AD-TEC BP020A 雙極直流電源 |
| 所屬品牌 | AD-TEC（Plasma Technology） |
| 產(chǎn)品系列 | BP系列雙極直流電源 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | BP020A |
| 精準(zhǔn)搜索關(guān)鍵詞 | AD-TEC BP020A、雙極直流電源、SiC功率模塊等離子體電源 |
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