
PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display





日本AD-TEC 自動阻抗匹配設(shè)備日本 AD-TEC AMVG 系列自動阻抗匹配裝置,支持 380kHz~40.68MHz 頻率,適配 300W~30kW 功率,具備高速自動匹配能力,搭配 AMV 軟件支持 PC 端操作與測量,內(nèi)置 LC 網(wǎng)絡(luò)標(biāo)準(zhǔn)庫,可根據(jù)客戶需求定制接口、尺寸與匹配范圍。
產(chǎn)品型號:AMVG系列
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
更新時間:2026-05-07
訪 問 量:105
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日本AD-TEC 自動阻抗匹配設(shè)備 日本AD-TEC 自動阻抗匹配設(shè)備
高速自動匹配:可實現(xiàn)高速自動阻抗整合,快速響應(yīng)負(fù)載阻抗變化,維持電源與負(fù)載間的阻抗匹配,減少工藝波動。
PC 端控制與測量:裝備 AMV 軟件,支持個人電腦對匹配裝置進(jìn)行操作、參數(shù)設(shè)置與阻抗測量,便于設(shè)備調(diào)試與工藝監(jiān)控。
內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)庫:內(nèi)置用于預(yù)設(shè)和 LC 網(wǎng)絡(luò)的標(biāo)準(zhǔn)庫,可快速調(diào)用常用匹配參數(shù),簡化工藝設(shè)置流程。
靈活定制能力:可根據(jù)客戶要求定制接口(I/F)、外觀尺寸、整合范圍,適配不同設(shè)備集成需求。
寬頻率與功率適配:支持 380kHz~40.68MHz 頻率范圍,最大通過功率覆蓋 300W~30kW,適配多種等離子體電源與工藝場景。
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 支持頻率 | 380kHz~40.68MHz |
| 電源規(guī)格 | 單相 AC100-200V(50-60Hz)、DC24V |
| 最大通過功率 | 300W~30kW |
半導(dǎo)體制造工藝,如等離子體刻蝕、沉積、清洗工序的射頻電源阻抗匹配
工業(yè)等離子體表面處理設(shè)備,如材料活化、改性、涂層工藝的電源配套
實驗室等離子體研究設(shè)備,提供穩(wěn)定的阻抗匹配支持
對工藝穩(wěn)定性要求較高的等離子體設(shè)備,需快速響應(yīng)負(fù)載阻抗變化的場景
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