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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YOSIO 靜電吸盤專用高壓雙路電源設備日本 YOSIO ESC ±1kV 100mA 是專為半導體靜電吸盤設計的雙路高壓電源，支持 ±1kV、±100mA 輸出，內(nèi)置 CC-Link/DeviceNet 網(wǎng)絡接口，具備極性反轉(zhuǎn)功能，可實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)剝離，適配半導體工藝設備需求。
產(chǎn)品型號：ESC ±1kV100mA廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-08訪 問 量：113
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日本YOSIO 靜電吸盤專用高壓雙路電源設備 日本YOSIO 靜電吸盤專用高壓雙路電源設備
雙路輸出，適配靜電吸盤需求：提供 DC 0~+1kV / 0~-1kV、0~+100mA / 0~-100mA 的雙路輸出，可同時為靜電吸盤的正負電極供電，滿足晶圓吸附與剝離的供電需求。
多種控制方式，適配自動化場景：通過內(nèi)置 CC-Link（CCL-PS2）或 DeviceNet（DNS-PS2）接口，可輕松構(gòu)建現(xiàn)場網(wǎng)絡；也可通過背面切換開關，選擇現(xiàn)場網(wǎng)絡或 EXT I/F 遠程控制，適配不同自動化系統(tǒng)需求。
極性反轉(zhuǎn)功能，實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)剝離：具備極性反轉(zhuǎn)功能，可改變輸出電壓極性，實現(xiàn)晶圓的平穩(wěn)剝離，減少晶圓損傷風險，提升工藝良率。
監(jiān)測功能，保障設備運行：配備獨立的電壓 / 電流監(jiān)測系統(tǒng)，支持 ± 電壓、± 電流的模擬輸出監(jiān)測，可通過監(jiān)測信號確認晶圓的吸附與脫離狀態(tài)，便于設備維護與工藝優(yōu)化。
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 外形尺寸 | W209 × D500 × H99 mm（不含突出物） |
| 設備質(zhì)量 | 約 3.8kg |
| 電源輸入 | 單相 AC 200V±10% 50/60Hz |
| 輸出電壓 | DC 0~+1kV / 0~-1kV |
| 輸出電流 | 直流 0~+100mA / 0~-100mA |
| 電壓監(jiān)控輸出 | 9V~5V~1V / +1kV~0V~-1kV；9V~5V~1V / -1kV~0V~+1kV |
| 電流監(jiān)控輸出 | 9V~5V~1V / +100mA~0A~-100mA；9V~5V~1V / -100mA~0A~+100mA |
| 外部輸出控制 | 0~10V / 0V~+1kV；0~10V / 0V~-1kV |
| 遠程外部設定 | CC-Link 第 2 局 |
| 紋波含量 | 1% rms 以內(nèi) |
| 輸出穩(wěn)定度 | 300V~1kV 時 ±1% 以內(nèi) |
半導體制造設備：為靜電吸盤系統(tǒng)提供高壓供電，適配晶圓吸附與剝離工藝，如刻蝕、沉積等工藝設備。
自動化工業(yè)設備：用于需要雙路高壓輸出的靜電吸附裝置，支持現(xiàn)場網(wǎng)絡控制與遠程監(jiān)控。
其他高壓直流供電場景：如靜電消除、離子注入等需要極性反轉(zhuǎn)功能的設備。
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