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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ARIOS 固態(tài)型高性能射頻電源設備日本 ARIOS RP 系列是固態(tài)型 13.56MHz 高性能射頻電源，含 150W/300W/500W/1kW 四檔型號，可搭配自動匹配盒，專為 RF 濺射、等離子體 CVD 等場景設計，支持實驗室到全自動控制等離子體源的多種用途。
產(chǎn)品型號：RP-151 / RP-301 / RP-502廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-06訪 問 量：107
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日本ARIOS 固態(tài)型高性能射頻電源設備 日本ARIOS 固態(tài)型高性能射頻電源設備
全固態(tài)設計，穩(wěn)定可靠：采用全固態(tài)架構(gòu)，搭配強力風扇強制空冷，支持高功率長時間穩(wěn)定運行，線性輸出控制，輸出性能穩(wěn)定。
高容許反射功率，抗干擾性強：具備高容許反射電源設計，可適應負載阻抗變化，提升設備運行穩(wěn)定性。
緊湊型輕量化設計，適配多種場景：機身緊湊輕量，便于實驗室、生產(chǎn)線等不同場景部署，適配多種安裝環(huán)境。
搭配自動匹配盒，阻抗適配廣：可搭配 MB 系列自動匹配盒（MB-302/MB-502/MB-1K02），支持 3~40Ω 或 1~30Ω 阻抗范圍，自動 / 手動切換整合模式，實現(xiàn)高速自動匹配。
| 項目 | RP-151 | RP-301 | RP-502 | RP-1K02 |
|---|---|---|---|---|
| 周波數(shù) | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz |
| 輸出功率 | 5~150W（150W 連續(xù)） | 10~300W（300W 連續(xù)） | 0~500W（500W 連續(xù)） | 10~1000W（1kW 連續(xù)） |
| 輸出阻抗 | 50Ω（BNC 接口） | 50Ω（BNC 接口） | 50Ω（N 型接口） | 50Ω（N 型接口） |
| 電源輸入 | 單相 AC100~240V（內(nèi)部設定） | 單相 AC100~240V（內(nèi)部設定） | 單相 AC100~240V（內(nèi)部設定） | 三相 AC200~260V |
| 功耗 | 250W 最大 | 450W 最大 | 750W 最大 | 1.5kW 最大 |
| 項目 | MB-302 | MB-502 | MB-1K02 |
|---|---|---|---|
| 適配功率 | 300W | 500W | 1000W |
| 周波數(shù) | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz | 13.56MHz ± 1kHz |
| 阻抗范圍 | 3~40Ω | 3~40Ω | 1~30Ω |
| 整合模式 | 自動 / 手動切換 | 自動 / 手動切換 | 自動 / 手動切換 |
RF 濺射、等離子體 CVD 等半導體 / 材料處理工藝場景
實驗室等離子體發(fā)生裝置，支持手動實驗操作
工業(yè)級全自動控制等離子體源，適配生產(chǎn)線連續(xù)運行
對射頻電源穩(wěn)定性、阻抗適配性有要求的等離子體應用場景
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