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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ARIOS 超小型微波激發(fā)等離子體源設(shè)備日本 ARIOS SMPS-201 是超小型微波激發(fā)等離子體源，專為氣體 / 排氣管線中途安裝設(shè)計，無電極放電可實現(xiàn)高密度等離子體，可用于腔室清潔、氣體活化、廢氣分解等場景，適配多種活性氣體，空冷式設(shè)計無需冷卻水。
產(chǎn)品型號：SMPS-201廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-06訪 問 量：89
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日本ARIOS 超小型微波激發(fā)等離子體源設(shè)備 日本ARIOS 超小型微波激發(fā)等離子體源設(shè)備
無電密度等離子體：采用新型微波供給方式實現(xiàn)無電極放電，可產(chǎn)生 1.2×1011 cm?3 密度、1.9eV 電子溫度的高密度等離子體，工藝性能穩(wěn)定。
輕量化緊湊型設(shè)計：本體重量僅 1.9kg，尺寸小巧，可靈活安裝于氣體管線中途，適配多種設(shè)備布局。
全空冷式設(shè)計，無需冷卻水：采用強制空冷方式冷卻，無需外接冷卻水系統(tǒng)，減少配套設(shè)備成本與安裝工序。
高安全性屏蔽結(jié)構(gòu)：屏蔽結(jié)構(gòu)設(shè)計，對微波泄漏具有安全性，使用過程更可靠。
適配多種活性氣體：可使用各種活性氣體，支持腔室清潔、氣體活化、廢氣分解等多種工藝場景。
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號 | SMPS-201 |
| 放電室材質(zhì) | 高純度氧化鋁 |
| 微波輸入功率 | 最大 200W |
| 放電室內(nèi)徑 | 直徑 20mm |
| 最大出射口徑 | 直徑 15mm |
| 氣體入口規(guī)格 | 1/4 VCR™ |
| 連接法蘭 | φ70CF |
| 冷卻方式 | 強制空冷方式（冷卻風扇） |
| 點火裝置 | 高壓脈沖許可型（自動） |
| 本體質(zhì)量 | 1.9kg |
| 工作條件（參考） | Ar 氣 90Pa、微波電力 85W、氣體流量 65sccm 時，等離子體密度 1.2×1011 cm?3、電子溫度 1.9eV |
半導體設(shè)備腔室清潔、污染物去除，提升工藝穩(wěn)定性
安裝于氣體管路中途，通過氣體活化提高工藝反應速度
作為氧化處理、氮化處理、蝕刻工藝的自由基源，進行氣體預處理
促進氣體分解，減輕廢氣處理裝置的負擔，降低環(huán)保設(shè)備運行壓力
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