熱門搜索：日本物性測(cè)試儀、石川擂潰機(jī)、水泥水分計(jì)、脫氣消泡罐、粉體硬度計(jì)、日本食感試驗(yàn)機(jī)
深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司 全國(guó)咨詢熱線：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ARIOS 小型微波激發(fā)離子源設(shè)備日本 ARIOS EMIS-111Q 是石英放電管型小型微波激發(fā)離子源，采用緊湊型設(shè)計(jì)，可產(chǎn)生大電流離子束，支持全空冷運(yùn)行，可搭配 2kV 離子加速電源，適用于離子束處理、薄膜制備等實(shí)驗(yàn)室工藝場(chǎng)景。
產(chǎn)品型號(hào)：EMIS-111Q廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-05-06訪 問(wèn) 量：94
立即咨詢
聯(lián)系電話：13823182047
日本ARIOS 小型微波激發(fā)離子源設(shè)備 日本ARIOS 小型微波激發(fā)離子源設(shè)備
緊湊高效的離子源設(shè)計(jì)：等離子體室由石英制成，可目視觀察放電情況，三電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可利用低功率微波獲得大電流離子束。
低雜質(zhì)污染設(shè)計(jì)：等離子體室中與等離子體接觸的部分全部由絕緣材料（氧化鋁 + 石英）構(gòu)成，可將雜質(zhì)混入降至。
安全屏蔽與冷卻設(shè)計(jì)：采用全屏蔽結(jié)構(gòu)，可防止微波泄漏，安全性高；全空冷式設(shè)計(jì)，無(wú)需冷卻水，降低配套設(shè)備成本。
適配多種氣體與工藝：可使用各種活性氣體，搭配可選中和器，也可用于絕緣體處理場(chǎng)景。
便捷的安裝與連接：微波通過(guò)同軸電纜傳輸，無(wú)需復(fù)雜的波導(dǎo)管連接，設(shè)備安裝與調(diào)試更簡(jiǎn)便。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號(hào) | EMIS-111Q |
| 放電室材質(zhì) | 石英 |
| 微波輸入功率 | 最大 150W |
| 放電室內(nèi)徑 | 直徑 26mm |
| 柵格孔徑 | φ2.8mm×19 |
| 烘烤溫度 | 最大 150℃（僅法蘭部分） |
| 真空密封方式 | O 型圈密封（放電管部） |
| 氣體入口規(guī)格 | 1/4 英寸錄像機(jī)接口™或 1/4 英寸 Swagelok 接口™ |
| 連接法蘭 | φ114CF |
| 配套離子加速電源型號(hào) | 3ACCPS2-30 |
| 加速電源輸出 | 加速電極 - 500V 8mA、屏極 2kV 30mA（比率可變更） |
| 離子束電流密度（參考） | 520μA/cm2（Ar 氣、微波功率 100W 條件下） |
實(shí)驗(yàn)室離子束處理工藝，如表面改性、刻蝕、清洗等
薄膜制備工藝中的離子束輔助沉積，提升薄膜附著力與性能
絕緣體材料處理場(chǎng)景，搭配可選中和器可滿足絕緣基底工藝需求
科研院所、高校實(shí)驗(yàn)室的離子源研發(fā)與工藝驗(yàn)證
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002
您的位置：
