日本P.R.A. 靜電吸盤(pán)（ESC）用高壓電源設(shè)備 日本P.R.A. 靜電吸盤(pán)（ESC）用高壓電源設(shè)備

產(chǎn)品概述

核心特點(diǎn)

• 雙極輸出與極性控制：支持 ±1~±5kV 雙極輸出，可實(shí)現(xiàn)高壓極性反轉(zhuǎn)，配合自動(dòng)放電功能，大幅改善晶圓的夾持與脫夾持特性，適配 Bipolar ESC 應(yīng)用場(chǎng)景。

• 射頻環(huán)境適配設(shè)計(jì)：配備專(zhuān)用 Blocking Filter 電路，可在 13.56MHz 射頻環(huán)境下穩(wěn)定工作，抑制射頻干擾，保障高壓輸出的穩(wěn)定性。

• 保護(hù)功能：內(nèi)置浪涌電流、電弧電流保護(hù)電路，具備短路 / 開(kāi)路保護(hù)功能，提升設(shè)備運(yùn)行的可靠性，適配半導(dǎo)體產(chǎn)線的連續(xù)作業(yè)需求。

• 靈活的接口與適配性：支持模擬 I/O、RS-232C 串行接口，可兼容現(xiàn)有設(shè)備的接口與安裝方式，便于產(chǎn)線升級(jí)改造。

• 長(zhǎng)壽命與低維護(hù)成本：采用自主設(shè)計(jì)電路，解決了海外同類(lèi)產(chǎn)品維修周期長(zhǎng)、成本高的問(wèn)題，可提供本地化維修與技術(shù)支持，保障產(chǎn)線連續(xù)運(yùn)行。

核心參數(shù)

應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體制造工藝：PVD、CVD、ETCH 等制程環(huán)節(jié)的硅片固定，適配 8 英寸 / 12 英寸晶圓產(chǎn)線

• 真空環(huán)境固定：液晶面板玻璃基板等材料在真空腔室內(nèi)的無(wú)損傷吸附與固定

• 產(chǎn)線升級(jí)改造：可兼容現(xiàn)有海外設(shè)備的接口與安裝方式，降低升級(jí)成本與周期