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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本JSE 低功耗自動整合匹配儀器日本 JSE MBPR-302 是一款專為設(shè)備嵌入設(shè)計的低功耗自動匹配單元，支持 13.56MHz、300W 射頻環(huán)境，集成 L 型整合回路，僅需 DC12V 供電即可運行，適配半導(dǎo)體工藝設(shè)備的阻抗匹配需求。
產(chǎn)品型號：MBPR-302廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-08訪 問 量：98
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日本JSE 低功耗自動整合匹配儀器 日本JSE 低功耗自動整合匹配儀器
低功耗與便捷供電：采用 DC12V 1.5A 供電，低功耗設(shè)計，便于設(shè)備嵌入安裝，無需復(fù)雜供電配置。
寬范圍阻抗匹配：采用 L 型整合回路，整合范圍覆蓋 R=3-40Ω、X=-50~+50Ω，適配不同負載條件下的阻抗匹配需求。
緊湊集成設(shè)計：操作功能集成于本體，結(jié)構(gòu)緊湊，便于設(shè)備集成安裝，減少額外空間占用。
穩(wěn)定的射頻適配能力：支持 13.56MHz、300W 射頻功率，配備空氣可變電容器（VC1 800pF、VC2 150pF）與 PM 型步進電機驅(qū)動，實現(xiàn)精準(zhǔn)阻抗調(diào)節(jié)。
監(jiān)測功能：支持模擬外部監(jiān)測，可輸出 Z 傳感器值、P 傳感器值及 C1/C2 當(dāng)前值，便于設(shè)備運行狀態(tài)監(jiān)控。
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 周波數(shù) | 13.56MHz |
| 定格電力 | 300W |
| 整合范圍 | R=3-40Ω、X=-50~+50Ω |
| 回路方式 | L 型整合回路 |
| 輸入連接器 | BNC-R 型 |
| 輸出連接器 | M4 螺絲端子 |
| 電源 | DC12V 1.5A |
| 整合素子 | VC1 空氣可變電容器 800pFVC2 空氣可變電容器 150pF |
| 驅(qū)動方式 | PM 型步進電機 |
| 冷卻方式 | 自然空冷 |
| 監(jiān)測功能 | 模擬外部監(jiān)測，支持 Z 傳感器值、P 傳感器值、C1/C2 當(dāng)前值輸出 |
半導(dǎo)體制造工藝：適配等離子體刻蝕、沉積等工藝設(shè)備的射頻阻抗匹配
等離子體處理設(shè)備：用于材料表面改性、清洗等設(shè)備的射頻電源匹配
設(shè)備嵌入集成：適配小型化、低功耗需求的工藝設(shè)備，實現(xiàn)射頻阻抗的自動調(diào)節(jié)
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