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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本JSE 13.56MHz 高頻電源設(shè)備日本 JSE RF-301/RF-151 是專為等離子體發(fā)生與工業(yè)用途設(shè)計(jì)的高頻電源，額定輸出 13.56MHz 300W，采用恒定功率反饋控制，支持 5W~300W 可調(diào)輸出，適配研究實(shí)驗(yàn)與半導(dǎo)體工藝場(chǎng)景。
產(chǎn)品型號(hào)：RF-301/RF-151廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-05-08訪 問 量：92
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日本JSE 13.56MHz 高頻電源設(shè)備 日本JSE 13.56MHz 高頻電源設(shè)備
穩(wěn)定的功率控制：采用恒定功率反饋機(jī)制，確保在不同負(fù)載條件下輸出功率穩(wěn)定，支持 5W~300W 寬范圍可調(diào)，適配不同工藝需求。
工業(yè)級(jí)適配設(shè)計(jì)：專為等離子體發(fā)生、材料處理等工業(yè)用途設(shè)計(jì)，支持 13.56MHz 標(biāo)準(zhǔn)射頻頻率，滿足半導(dǎo)體工藝設(shè)備的射頻電源需求。
便捷的操作與監(jiān)控：配備電源開關(guān)、RF ON 開關(guān)及功率調(diào)節(jié)旋鈕，支持正向功率（Pf）與反射功率（Pr）實(shí)時(shí)顯示，便于運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控。
保護(hù)功能：內(nèi)置 AC 一次側(cè)保險(xiǎn)絲保護(hù)，配備保護(hù)指示燈，可快速反饋設(shè)備異常狀態(tài)，提升運(yùn)行安全性。
寬環(huán)境適應(yīng)性：工作環(huán)境溫度 0-40℃、濕度≤80%（無結(jié)露），采用風(fēng)扇風(fēng)冷設(shè)計(jì)，保障長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)（RF-301） |
|---|---|
| 周波數(shù) | 13.56MHz |
| 額定輸出 | 300W @ 50Ω 負(fù)載 |
| 輸出可調(diào)范圍 | 5W~300W |
| 電源電壓 | AC100V 50/60Hz（可選 AC200V） |
| 消費(fèi)電力 | 約 500W |
| 冷卻方式 | 風(fēng)扇風(fēng)冷 |
| 安全回路 | AC 一次側(cè)保險(xiǎn)絲（L 側(cè)） |
| 操作部件 | 電源開關(guān)、RF ON 開關(guān)、功率調(diào)節(jié)旋鈕 |
| 顯示部件 | RF ON 指示燈、保護(hù)指示燈、Pf/Pr 顯示 |
| 使用環(huán)境 | 室溫 0-40℃、濕度≤80%（無結(jié)露） |
半導(dǎo)體制造工藝：適配等離子體刻蝕、沉積、清洗等工藝設(shè)備的射頻電源需求
研究與實(shí)驗(yàn)：適用于等離子體物理、材料表面改性等科研實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景
工業(yè)處理設(shè)備：用于等離子體表面處理、滅菌等工業(yè)設(shè)備的射頻供電
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