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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本JSE 13.56MHz 500W 高頻電源設(shè)備日本 JSE RF-500 是專為等離子體發(fā)生設(shè)計(jì)的高頻電源，采用晶體振蕩器與輸出穩(wěn)定功能，穩(wěn)定輸出 13.56MHz 500W 能量，支持 0~500W 功率可調(diào)，風(fēng)冷小型化設(shè)計(jì)，適配半導(dǎo)體工藝與科研實(shí)驗(yàn)場景。
產(chǎn)品型號：RF-500廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-05-08訪 問 量：123
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日本JSE 13.56MHz 500W 高頻電源設(shè)備 日本JSE 13.56MHz 500W 高頻電源設(shè)備
穩(wěn)定的能量輸出：采用晶體振蕩器，頻率變動控制在 ±1kHz 以內(nèi)，配合輸出穩(wěn)定功能，實(shí)現(xiàn) 13.56MHz 500W 能量的穩(wěn)定輸出，輸出穩(wěn)定度 ±1% 以內(nèi)（內(nèi)部控制 CW 模式）。
寬功率調(diào)節(jié)范圍：支持 0W~500W 功率可調(diào)，適配不同工藝需求，滿足等離子體發(fā)生、材料處理等多場景應(yīng)用。
保護(hù)機(jī)制：內(nèi)置反射保護(hù)、內(nèi)部過電壓 / 過電流保護(hù)（下垂特性）、過熱保護(hù)（切斷），可快速響應(yīng)設(shè)備異常狀態(tài)，保障運(yùn)行安全。
便捷的操作與控制：配備 LOCAL/REMOTE 模式切換、ON/OFF 開關(guān)、RESET 按鈕及功率調(diào)節(jié)旋鈕，支持正向功率（FORWARD）與反射功率（REFLECT）實(shí)時(shí)顯示，便于運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控。
靈活的電源適配：支持 AC100V/200V 單相輸入（可在出貨時(shí)設(shè)定），消費(fèi)電力約 800W，采用強(qiáng)制風(fēng)冷設(shè)計(jì)，保障長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 品名 | 高頻電源 |
| 型號 | RF-500 |
| 周波數(shù) | 13.560MHz |
| 額定出力 | 500W |
| 出力可變范圍 | 0W ~ 500W |
| 周波數(shù)變動 | ±1kHz 以內(nèi) |
| 電源輸入 | AC100V/200V 單相（出貨時(shí)設(shè)定） |
| 消費(fèi)電力 | 約 800W |
| 出力安定度 | ±1% 以內(nèi)（內(nèi)部控制 CW 模式） |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制空冷 |
| 變調(diào)機(jī)能 | 無 |
| 外部発振 | 5mW@50Ω |
| 終段アンプ | MOS-FET CLASS D |
| 外部制御 | 外部制御專用 |
| スプリアス | -50dBc 以下 |
| 出力コネクタ | N-R 型同軸連接器 |
| AC コネクタ | AC インレット 3P |
| その他コネクタ | リモコン DDK#57-40240 |
| 保護(hù)回路 | 反射保護(hù)、內(nèi)部過電壓 / 過電流保護(hù)（下垂）、過熱保護(hù)（切斷） |
| 制御機(jī)能 | 別表 |
半導(dǎo)體制造工藝：適配等離子體刻蝕、沉積、清洗等工藝設(shè)備的射頻電源需求
科研與實(shí)驗(yàn)：適用于等離子體物理、材料表面改性、等離子體化學(xué)等科研實(shí)驗(yàn)場景
工業(yè)處理設(shè)備：用于等離子體表面處理、滅菌、薄膜沉積等工業(yè)設(shè)備的射頻供電
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